“五一”假期，山西博物院推出两大重磅展览

本赛季英超创造机会数：B费101次遥遥领先

韦尔西亚

布瓦德冈

热尔米涅 (汝拉省)

　　多元力量聚合力，打造“全功能”服务队伍

　　“睦邻先锋队”广纳贤才，社区工作者、党员志愿者、退休干部、全职妈妈等群体纷纷响应。截至目前，通过线上线下报名渠道，已吸纳队员35名，组建起3支特色小队。由党员水电工组成的“闪电维修组”，成立以来完成水电抢修6次、公共设施巡检9次；退休干部组成的“红马甲调解团”，成功化解邻里纠纷5起，调解成功率达100%；6名全职妈妈组成的“童心守护联盟”，开展课外辅导、亲子活动14场，服务儿童超120人次。

　　专业赋能强本领，提升服务“含金量”

　　为让服务更专业，先锋队建立分层培训体系，基础培训帮助队员快速熟悉社区居民的分布特点与文化习俗。专业培训则精准发力，为维修组开设水电技能提升课，邀请专业技师现场演示；为调解团解读《中华人民共和国民法典》邻里关系条款；为守护联盟培训儿童急救与心理疏导技巧。规范的工作机制让服务高效运转，居民可通过社区热线、微信群等渠道反馈需求，受理岗24小时内完成分类派单。家住定远县曲阳国际小区的居民陈龙反映楼道灯不亮，闪电维修组15分钟响应，30分钟修复，满意度评价达五星。此外，积分兑换机制激发持续动力，队员凭服务时长累计积分，可在辖区超市兑换生活用品，已有7名队员兑换了积分奖励。

　　共建共治聚民心，绘就社区治理“同心圆”

　　“睦邻先锋队”不仅解决问题，更拉近了邻里距离，退休教师杜黎明是调解团成员，她调解的不仅是纠纷，更是人心。居民张先生曾因楼上住户的空调外机正对着自家卧室窗台，生活备受影响，多次向物业和社区反映却无果。杜黎明得知后，一次次上门耐心协调，用真诚沟通架起桥梁，最终楼上住户主动同意移走外机，一场僵持许久的邻里矛盾迎刃而解。更暖心的是，经此一事，两家人从最初的隔阂生疏，变成了如今常来常往的朋友。从设施维修到矛盾化解，从儿童守护到邻里互助，这支队伍用行动诠释“远亲不如近邻”，让共建共治共享的理念落地生根，让幸福在邻里间悄然传递。（王建国）

定远县：汇聚邻里力量 共筑幸福家园

圣谢夫

鲁西永 (伊泽尔省)

罗塔利耶

广西新闻网-广西日报杭州电（特派记者 钟文昌 玉智威）9月24日晚，由张博恒、邹敬园、肖若腾、林超攀、兰星宇组成的中国体操男队以262.025分的总成绩夺得杭州亚运会体操男子团体金牌，蝉联该项目冠军，广西籍运动员兰星宇因此拿到自己的第一块亚运金牌，也为广西健儿在杭州亚运会上获得首枚金牌。

9月24日，杭州亚运会竞技体操男子团体冠军中国队选手兰星宇、林超攀、张博恒、肖若腾、邹敬园（从左至右）在颁奖仪式上。新华社记者 程婷婷 摄

24日亚运会首个体操比赛日进行的是男子资格赛和团体决赛，资格赛成绩直接决定了团体赛成绩。中国队在第三场资格赛中亮相，第一个项目鞍马比赛中，张博恒、肖若腾都拿到了14分以上的成绩。

中国队在男子吊环上占据绝对优势，兰星宇、邹敬园、张博恒三人出战，成绩包揽前三。其中，兰星宇以全场最高难度分6.4分的成套动作，位列这个项目第一。在吊环项目上，中国队拿到44.466分，比排在第二的日本队高出2.967分。

中国队最后一个项目为自由体操，林超攀、肖若腾、张博恒先后上场。当张博恒以一套漂亮的动作完成比赛后，中国队队员们振臂欢呼，14.933分！团体总分262.025分已经超越日本队来到了得分榜榜首。队员们甚至已经拿出国旗开始庆祝胜利。在欢呼声中，兰星宇完成了个人最后一套动作，尽管有些瑕疵，但得分已不重要，中国队已将冠军收入囊中，成功卫冕！

“兰星宇助力国家队夺得男子体操团体金牌，为参加杭州亚运会比赛的广西健儿开了个好头。”当晚，在杭州黄龙体育中心体操馆，分管竞技体育的自治区体育局副局长魏鹤，观看了中国体操男队团体赛夺冠的全过程，并肯定了广西籍运动员兰星宇在此次比赛中的表现。

赛后，在评价自己的表现时，兰星宇的神情开始有些凝重，他直言不讳地说：“第一次参加综合性运动会，还是有压力的，我今天还是紧张了，在一些项目的表现上有瑕疵。”

9月28日，兰星宇将出战吊环决赛。作为近年来中国男子体操的吊环担当，他立志要拿出比这个夜晚更好的表现，“我会调整好心态，这几天把动作的细节跟规格再提升一下，相信会取得好成绩的”。

广西亚运健儿首金来了 兰星宇助力中国队卫冕亚运会体操男团冠军

欧巴尼昂

沃德雷

罗什图瓦兰

　　该行动自2026年2月开展至今，整治工作取得显著成效，共纠正占道经营行为391起；检查各类餐饮服务场所76家（次），责令整改油烟排放不规范1起；清理城市“牛皮癣”2300余张；规范共享单车乱停乱放126次。如今，城区主次干道更加干净整洁，占道经营现象明显减少，环境卫生死角基本消除，扬尘污染得到有效遏制，市容秩序显著改善，市貌焕然一新，市民出行更舒心、生活环境更宜居。

　　下一步，区城管局将继续保持整治高压态势，深化拓展市容市貌整治成果，进一步健全长效管理机制，全力打造更加干净、整洁、有序的城市环境，为建设宜居宜业的美丽洛江贡献城管力量。

精治市容顽疾， 洛江区城管局在行动

博蒙地区圣洛朗

武汉机械学院

韦诺斯克

　　洞头网讯(记者 余佩遥 陈超凡)6月28日上午，区委书记郭云强主持召开半年度重点工作调度会暨四套班子领导交流会，分析研判上半年各项工作形势，研究部署下半年工作，力争半年“双过半”，确保全年“满堂彩”。区领导刘素婷、林铁等参加会议。

　　会上，区四套班子领导就专班工作和分管领域重点工作进展情况依次进行了汇报交流，并就工作中存在问题提出攻坚举措。

　　郭云强逐一点评，肯定了各重点专班、重点工作推进成效。他指出，下步，全区上下要打起“十二分”精神，拿出超常规力度、超常规举措，稳住二季度，决胜半年红，交出高分答卷！

　　郭云强强调，要实干争先大比武。各专班要发挥“尖刀连”作用，突出科学、精准、抓紧，做到目标更聚焦，标准更严格，责任更明确，配置更灵活，切实增强工作“前瞻性”，找到破难“要害处”，打造硬核“主业绩”，紧盯时间节点，强化闭环管理，用好督查利剑，加快打造一批标志性成果。要大干三季度决胜四季度。以更大力度、更实举措，紧盯指标发力，推动经济稳进提质，持之以恒攻坚重点项目建设，持续做好招大引强突破、城乡精建精美、民生事项服务，抓实抓好要素向上争取工作，为完成全年工作目标任务打下坚实基础。要敢于担当作表率。领导干部要拿出苦干实干的行动，拿出加压奋进的劲头，高位谋划、俯身做事，克难攻坚、创新突破，创先争优、尽职包联，凝聚工作合力，全力抓好各项工作高效落实，奋力推动经济社会高质量发展。

半年度重点工作调度会暨四套班子领导交流会召开：力争半年“双过半” 确保全年“满堂

拉旺西亚-埃佩尔西

特雷米尼 (伊泽尔省)

普勒坦

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

桑唐 (汝拉省)

圣翁德拉

尚帕涅 (汝拉省)